PVC无尘烘箱系列用于半导体制作中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等资料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等出产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的枯燥、热处理、老化等其他高温实验。2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热出产器,防机台自身所发生微尘;3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20×20设备往前门(特别风道规划)方向送风,过滤功率99.99%,Class 100,排气口:3φ(附主动启闭风门)4.强制送风循环方法。双风道循环结构,温度场散布均匀,智能P.I.D温控体系,得到最佳温度控制精度。
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